半導(dǎo)體槽式濕法刻蝕設(shè)備晶圓片清洗
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品：實(shí)心錐噴嘴
應(yīng)用： 噴嘴安裝于槽式濕法刻蝕設(shè)備里，通過配合不同化學(xué)藥液，有效去除晶圓表面顆粒、有機(jī)物和金屬離子，應(yīng)用于晶圓制造、MEMS制造，以及功率器件制造領(lǐng)域。
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